Plasma sources for thin film deposition and etching
- Författare
- (Edited by Maurice H. Francombe, John L. Vossen contributors Richard A. Gottscho and four others.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Academic Press | 1994 | Kalifornien, San Diego, California | 1 online resource (343 sidor.) | 978-0-08-092513-4 |